2025-05-19 01:11:42
深入研究 Trench MOSFET 的電場(chǎng)分布,有助于理解其工作特性和優(yōu)化設(shè)計(jì)。在導(dǎo)通狀態(tài)下,電場(chǎng)主要集中在溝槽底部和柵極附近。合理設(shè)計(jì)溝槽結(jié)構(gòu)和柵極布局,能夠有效調(diào)節(jié)電場(chǎng)分布,降低電場(chǎng)強(qiáng)度峰值,避免局部電場(chǎng)過(guò)強(qiáng)導(dǎo)致的器件擊穿。通過(guò)仿真軟件對(duì)不同結(jié)構(gòu)參數(shù)下的電場(chǎng)分布進(jìn)行模擬,可以直觀地觀察電場(chǎng)變化規(guī)律,為器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供依據(jù)。例如,調(diào)整溝槽深度與寬度的比例,可改變電場(chǎng)在垂直和水平方向上的分布,從而提高器件的耐壓能力和可靠性。Trench MOSFET 因其高溝道密度和低導(dǎo)通電阻,在低電壓(